微細(xì)加工技術(shù)雜志 統(tǒng)計(jì)源期刊
主管單位：信息產(chǎn)業(yè)部 主辦單位：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48研究所
雙月刊 審稿周期：3-6個(gè)月
《微細(xì)加工技術(shù)》由伍三忠擔(dān)任主編，創(chuàng)刊于1983年，由信息產(chǎn)業(yè)部主管、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48研究所主辦的一本電子領(lǐng)域?qū)I(yè)期刊。主要刊載該領(lǐng)域內(nèi)的原創(chuàng)性研究論文、綜述和評(píng)論等，力求及時(shí)、準(zhǔn)確、全面的反映該領(lǐng)域的政策、技術(shù)、應(yīng)用市場(chǎng)及動(dòng)態(tài)。
- 43-1140/TN 國(guó)內(nèi)刊號(hào)
- 1003-8213 國(guó)際刊號(hào)
- 0.19 影響因子
- 758 總被引量
- 1983 創(chuàng)刊時(shí)間
微細(xì)加工技術(shù)期刊信息
- 出版語(yǔ)言：中文
- 創(chuàng)刊時(shí)間：1983年
- 國(guó)際刊號(hào)：1003-8213
- 曾用名：微細(xì)加工技術(shù)
- 紙張開(kāi)本：A4
- 國(guó)內(nèi)刊號(hào)：43-1140/TN
- 出版地區(qū)：湖南
- 發(fā)行周期：雙月刊
微細(xì)加工技術(shù)期刊榮譽(yù)
微細(xì)加工技術(shù)編輯部聯(lián)系方式
地址：長(zhǎng)沙市第96號(hào)信箱301分箱（長(zhǎng)沙黑石鋪）
郵編：410111
主編：伍三忠
微細(xì)加工技術(shù)發(fā)文選摘
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1、電子束環(huán)氧基負(fù)膠的曝光反應(yīng)機(jī)理分析
作者：盧文娟; 張玉林; 孔祥東
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2、環(huán)境因素對(duì)微納加工中精確定位影響的研究
作者：張波; 薛虹
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3、電子束直寫(xiě)中X射線(xiàn)光刻掩模的熱形變研究
作者：尚鴻雁; 王永坤
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4、飛秒激光應(yīng)用于合金材料微細(xì)加工的試驗(yàn)研究
作者：劉勛; 陳濤; 劉世炳; 左鐵釧
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5、光刻機(jī)試驗(yàn)運(yùn)動(dòng)裝置振動(dòng)信號(hào)的時(shí)頻分析
作者：鄧習(xí)樹(shù); 吳運(yùn)新; 隆志力; 楊輔強(qiáng)
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6、微細(xì)工件的高頻群脈沖ECLM試驗(yàn)研究
作者：付偉; 張之敬; 溫楠
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7、基于AFM的多圖層圖形加工
作者：李曉娜; 韓立
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8、氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制備GaN納米線(xiàn)
作者：李紅; 薛成山; 莊惠照; 張曉凱; 陳金華; 楊兆柱; 秦麗霞
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9、基于多種群遺傳算法的膜系優(yōu)化設(shè)計(jì)
作者：劉磊; 金春水; 金偉華
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10、Al摻雜的ZnO薄膜的XPS譜和光學(xué)特性研究
作者：李麗; 常仁杰; 方亮; 李秋俊; 陳希明; 馮世娟
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